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온도에 민감한 재료의 건조 공정에서 진공 정밀 제어 솔루션
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PVT 방식 SIC 결정성장 공정을 위한 고정밀 압력 제어 솔루션 및 보조장비 국산화 교체
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진공정밀제어의 응용 - 미세분말을 진공오븐에서 건조하는 비결
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