전자 제어식 니들 밸브 기능 비교

1. 업스트림 유량 제어 MKS 밸브
개요: 미국 MKS Corporation의 148J, 248A 및 154A 시리즈 업스트림 유량 제어 밸브와 244, 250, 946 및 651 시리즈 컨트롤러를 기반으로 합니다. 이 기사에서는 전자 제어 니들 밸브와 다기능 고정밀 컨트롤러에 해당하는 국산화된 대체 제품을 소개합니다. 또한, 국산화된 대체제품의 해당 특성과 기술지표를 소개합니다.
MKS 업스트림 유량 제어 밸브는 그림 1과 같이 진공 전자기 비례 밸브의 일종으로 세 가지 시리즈의 제품이 있습니다. (1) 148J 전체 금속 유량 제어 밸브: 금속 씰, 유량 범위 0.01~20L/min. (2) 154B 대형 유량 제어 밸브: 고무 씰, 유량 범위 20~200L/min. (3) 248D 범용 유량 제어 밸브: 고무 씰, 유량 범위 0.01~50L/min.



2. MKS 유량/압력 컨트롤러 MKS의 유량/압력 컨트롤러는 그림 2와 같이 PID 컨트롤러의 일종으로 주로 다음과 같은 4가지 시리즈의 제품으로 구성됩니다.
(1) 244 시리즈: 수동 PID 제어, 단일 채널 제어, 다양한 센서에 적합, 0~10VDC 입력 신호, 수동/자동/외부 제어 모드, 정확도는 전체 스케일의 0.25%, 다중 설정점(3 또는 4) , 제어 편차 표시기. 이 컨트롤러 모델 시리즈는 현재 단종되었습니다.
(2) 250 시리즈: 수동 PID 제어, 단일 채널 제어, 다양한 진공 센서에 적합, 0~10VDC 입력 신호, 수동/자동/외부 제어 모드, 정확도는 전체 스케일의 0.25%, 최대 4개 설정점 , 외부 프로그래밍 설정, 측정값 및 제어 편차 값의 디지털 표시. 이 컨트롤러 모델 시리즈는 현재 단종되었습니다.
(3) 946 시리즈: 자동 PID 제어, 16비트 A/D 획득, 6채널 제어, 다양한 진공 센서에 적합합니다. 최대 6개의 센서 신호를 동시에 모니터링할 수 있으며, 0~10VDC 입력/출력 신호, 수동/자동/외부 제어 모드, 내부 프로그래밍, 측정값 및 제어 편차 값의 디지털 표시, 12방향 릴레이 출력, RS232/ 485 통신.
(4) 651 시리즈: 자기 조절형 고속 PID 제어, 16비트 A/D 획득, 단일 채널 제어, 다양한 진공 센서에 적합, 0~10VDC 입력/출력 신호, 수동/자동/외부 제어 모드, 반복성은 전체 범위 ±0.1%, 외부 프로그래밍, 측정값의 디지털 표시, 다중 채널 I/O 인터페이스, RS232/485 통신입니다.




삼.국부적으로 전자 제어되는 니들 밸브가 MKS 솔레노이드 제어 밸브를 직접 대체합니다.
MKS의 업스트림 유량 제어 밸브는 전통적인 솔레노이드 밸브입니다. 솔레노이드 밸브의 가장 큰 문제는 히스테리시스가 상대적으로 커서 선형성과 제어 정확도에 분명히 영향을 미친다는 것입니다. 이러한 제어 밸브의 전체 가격은 상대적으로 높으며 해당 지역 브랜드가 없습니다. 업스트림 유량 제어 밸브의 국지적 교체에 도달하고 비용 효율성을 향상시키기 위해 스테퍼 모터를 사용하여 니들 밸브 기술의 솔레노이드 밸브를 교체하고 유량이 다른 일련의 전자 제어 니들 밸브를 개발합니다. 그림 3과 그림 4에서 볼 수 있듯이 현지화 대체가 완전히 이루어졌습니다.
방문하시기 바랍니다https://www.genndih.com/ko/proportional-flow-control-valve.htm

모델	FC-20	FC-120	FC-300	FC-1000
밸브 종류	니들 밸브
운전사	바이폴라 스테퍼 모터 제어
응답 시간	0.8초(열림에서 닫힘)
표준 크기	G 1/8”	G 3/8”
체액	불활성 가스 및 액체 압력
범위	-1 ~ 7바	-1 ~ 5바
유량 범위	3× ~75L/분	0.01 ~ 30L/분	0.2 ~ 200L/분	0.1 ~ 50L/분
최대 흐름	50L/분 @7bar	240L/분 @7bar	290L/분 @7bar	600L/분 @7bar
선형성	2%	0.1~1%	0.2~5%	11%

 

반복성 (풀 스케일)	1%
흐름 분해능(단계 길이)	0.1L	0.1~0.2L	0.2 ~ 0.75L	1L
교대 해결	12.7 음	25.4 음
작동 온도 범위	0 ~ 84℃
밀봉하다	표준 FKM 또는 기타 씰 선택
제어 신호	DC: 0~10V(또는 4~20mA)
전원공급장치	DC: 24V(12W)

4. 현지화된 고정밀 PID 컨트롤러가 MKS 컨트롤러를 대체합니다.
MKS의 가스 흐름/압력 제어는 진공 분야의 가스 흐름 및 압력 제어만 충족할 수 있는 전용 컨트롤러입니다. 매우 강력하지만 가격이 더 비쌉니다. 국산화로 대체된 PID 컨트롤러는 정밀도가 더 높은 24비트 A/D 컬렉터를 채택했습니다. 컨트롤러는 그림 5와 같이 더욱 다양해졌으며 온도와 진공 압력을 동시에 제어할 수 있습니다. 주요 기능은 다음과 같습니다.
(1) 고정밀도: 24비트 A/D 수집, 16비트 D/A 출력.
(2) 다중 채널: 독립적인 1채널 및 2채널.
(3) 다기능: 47가지 입력 신호(열전대, 열 저항, DC 전압)가 동시에 테스트되고 다양한 매개변수를 표시 및 제어할 수 있으며 정방향 및 역방향 제어(양방향 제어 모드)를 수행할 수 있습니다.
(4) PID 제어: 개선된 PID 알고리즘은 PV 차동 및 차동 전진 제어를 지원합니다. 그룹 PID 20개 그룹, 그룹 출력 리미터 기능.
(5) 듀얼 센서 전환: 각 채널은 고온 및 저온, 고진공 및 저진공의 듀얼 센서 전환을 지원할 수 있습니다. 두 개의 채널은 총 4개의 센서가 연결된 제어 조합을 형성할 수 있습니다.
(6) 프로그램 제어: 각각 50개의 세그먼트가 있는 20개의 프로세스 곡선을 지원하고 내부 주기 및 곡선 주기를 지원합니다.