국부화된 전자 공기 흐름 제어 밸브

INFICON VDE016 및 Pfeiffer EVR116 가스 제어 밸브 및 PID 컨트롤러의 국지적 대체 제품
개요: INFICON의 VDE 016 및 Pfeiffer의 EVR 116 가스 제어 밸브뿐만 아니라 INFICON의 VCC500 및 Pfeiffer의 RVC 300 컨트롤러와도 비교됩니다. 이 기사에서는 전자 공기 흐름 제어 밸브와 고정밀 PID 컨트롤러의 다기능에 해당하는 국산화된 대체 제품을 소개합니다. 또한, 현지화된 대체 제품의 해당 기능과 기술 지표를 소개합니다.

1. 개요
INFICON의 VDE 016과 Pfeiffer의 EVR 116의 가스 제어 밸브는 실제로 OEM만 다를 뿐 완전히 동일한 제어 밸브입니다. 그림 1에 표시된 것처럼 이 가스 제어 밸브는 스테퍼 모터로 구동되는 니들 밸브로, 외부 제어 신호를 규정된 밸브 니들 위치로 변환하여 밸브 개방을 조정하여 가스 흐름 제어에 도달할 수 있습니다. 외부 제어 신호에는 다음 세 가지 유형이 있습니다.
(1) DC 시뮬레이션 전압 (0~10VDC)
(2) 인터페이스 모듈
(3) RS232 인터페이스
이 가스 제어 밸브의 경우 INFICON과 Pfeiffer는 그림 2에 표시된 대로 일치하는 컨트롤러를 제공했습니다. 모델은 INFICON: VCC500-Z; 파이퍼: RVC 300.
이 기사에서는 위에서 언급한 제어 밸브 및 컨트롤러에 대한 해당 기술 지표를 소개하고 해당 현지화 대체 제품 및 해당 기술 지표를 소개하여 현지화 대체를 위한 비용 효율적인 제품을 제공합니다.

2. 외국제품의 기술적 지표
2.1 가스조절밸브의 사양
INFICON 및 Pfeiffer 제어 밸브의 성능 매개변수는 표 1에 표시되어 있으며 기술 지표는 표 2에 표시되어 있습니다.

2.2 컨트롤러 기술 지표
INFICON과 Pfeiffer의 컨트롤러 성능에 대한 기술 지표는 표 3에 나와 있습니다.

작동 모드	압력 제어, 가스 흐름 조절
아날로그 출력	4개 채널: 진공 압력 센서 신호, 밸브 신호(0-10VDC), 밸브 위치, +10VDC 기준 전압(10mA)
숫자 출력	8개 채널: 밸브 개방, 밸브 폐쇄, 밸브 위치, 밸브 오류, 센서 오류, 준비, 발산, 센서 상태
아날로그 입력	2채널: 진공 압력 설정점(표준값), 유량 설정점(표준값)
숫자 입력	8개 채널: 유량 감소, 유량 추가, 외부 폐쇄, 외부 개방, 유량 모드, 압력 모드, 배출 개방, 배기 개방
특성	정전 후 출력을 켜면 "표준 값에 도달"한 다음 허용 오차를 조정할 수 있습니다.
디스플레이 유닛	mbar, Pa, Torr, mV
언어	영어, 독일어
통신 인터페이스	RS232C, RS485

 

컨트롤러 유형	PI 자동: 제어 속도 단계 1-99를 선택할 수 있습니다. PID: 사용자가 매개변수를 정의할 수 있습니다.
제어 정확도	±5% FS 센서
디스플레이 정확도	±0.2% FS 센서
전원공급장치	전압90 ~250VAC

무게

1.65kg

위에서 언급한 컨트롤러 기술 지표와 실제 적용 경험을 통해 INFICON 및 Pfeiffer 컨트롤러에는 다음과 같은 결함이 있음을 알 수 있습니다.
(1) 단일 채널 측정 및 제어: 즉, 하나의 진공 게이지 신호와 하나의 제어 밸브만 수집할 수 있습니다. 아날로그 및 디지털 입력 및 출력 채널이 여러 개 있더라도 폐쇄 루프 제어는 하나만 수행할 수 있습니다. 이 단일 채널 컨트롤러는 두 개의 진공 게이지가 필요한 넓은 범위를 포괄할 수 없습니다.
(2) PID 자체 조절 기능 없음: INFICON 및 Pfeiffer 컨트롤러의 가장 큰 단점은 PID 매개변수 자체 조정 기능이 없다는 것입니다. 이는 실제 적용에 불편을 초래하고 사용자가 스스로 적합한 PID 매개변수를 찾아야 합니다. 때로는 최적의 PID 매개변수를 최종적으로 얻을 수 없는 경우가 있으며 이는 제어 효과에 심각한 영향을 미칩니다.
(3) 좋지 않은 제어 정확도: 제어 정확도는 센서 전체 스케일의 ±5%입니다. 이는 기본적으로 컨트롤러의 획득 및 제어 회로가 12비트 A/D 및 D/A 변환기를 사용한다는 것을 보여줍니다. 제어 정확도를 결정합니다.

3. KAOLU 의전자 공기 흐름 제어 밸브INF를 대체합니다.나CON 및 PFA 제어 밸브
INFICON과 Pfeiffer의 제어 밸브는 스테퍼 모터로 구동되는 일반적인 전자 공기 흐름 제어 밸브입니다. 성과 지표가 매우 우수합니다. 유일한 단점은 니들 밸브의 열림이 작아 유량이 적다는 것입니다. 게다가 가격도 너무 비싸요.
가스 흐름 제어 밸브를 대체하고 저비용 고성능을 향상시키기 위해 KAOLU 국산화를 위해 니들 밸브 기술에 스테퍼 모터를 사용하고 유량이 다른 일련의 전자 공기 흐름 제어 밸브를 개발했습니다. 그림 3에서 볼 수 있듯이 완전히 교체되었으며 가격은 외국 제품의 1/3에 불과합니다. 자세한 기술 지표는 그림 4에 나와 있습니다.https://www.genndih.com/ko/proportional-flow-control-valve.htm


(그림 3 KAOLU 의 FC 전자 공기 흐름 제어 밸브)

모델	FC-20	FC-120	FC-300	FC-1000
밸브 종류	니들 밸브
스풀 드리프트 직경	0.9mm	2.25mm	2.75mm	4.10mm
액추에이터	바이폴라 스테퍼 모터 제어
응답 시간	0.8초(열림에서 닫힘)
표준 크기	G1/8”			G3/8”
체액	불활성 가스 및 액체
연락처 자료	스테인레스 스틸
압력 범위	-1 ~ 7bar			-1 ~ 5bar
최대 흐름	50L/분 @7bar	240L/분 @7bar	290L/분 @7bar	600L/분 @7bar

선형성	±2%	±0.1~1%	±0.2~5%	±11%
반복성 (풀 스케일)	±0.1%
흐름 분해능(단계 길이)	0.1L/분	0.1 ~ 0.2L/분	0.2 ~ 0.75L/분	1L/분
이동 분해능(단계 길이)	12.7um		25.4um
작동 온도 범위	0 ~ 84℃
밀봉하다	표준 FKM 또는 기타 씰 선택

제어 신호	DC: 0~10V(또는 4~20mA)
전원공급장치	DC: 24V(12W)