2022.03.18
마이켈슨 레이저 간섭계 센서의 미세 변위 및 경사 측정에서의 진공 정밀 제어 기술
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자세한 세부 사항
마이켈슨 레이저 간섭계 센서의 미세 변위 및 경사 측정에서의 진공 정밀 제어 기술
개요: Michelson 레이저 간섭계 센서의 정밀한 미세 변위 및 경사 측정에서는 진공도를 정확하게 제어하는 것이 필요합니다. 그렇지 않으면 변형, 굴절률, 온도 등의 요인으로 인해 큰 변동이 발생하고 측정이 불가능해질 수도 있습니다. 본 논문에서는 전자유량제어밸브를 이용한 진공도 자동제어 기술을 소개하고, 구체적인 구현방안을 자세히 소개한다.
1. 질문
고정밀 광학 기기로는 Michelson 레이저 간섭계 센서가 널리 사용되었습니다. 파장, 가스 또는 액체 굴절률, 두께, 변위 및 경사를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 고정밀 측정의 길이, 속도, 각도, 평탄도, 직진도, 수직도 등을 측정할 수 있습니다. 그러나 고정밀 측정에서 Michelson 레이저 간섭계 센서는 대기 환경의 영향을 크게 받습니다. 이러한 이유로 측정 대상은 일반적으로 그림 1과 같이 저압 진공 환경에 배치되며 전자 유량 제어 밸브로 진공도를 정밀하게 제어하지 않으면 다음과 같은 문제가 발생할 수 있습니다.
(1) 테스트 환경의 가스 굴절률 변동은 고정밀 측정에 심각한 영향을 미칩니다. 특수 가스 굴절률 보정 장치를 사용하면 측정 정확도가 마이크론 또는 서브 마이크론 수준에 도달할 수 있으며 더 높은 정밀도의 측정에는 도달할 수 없습니다.
(2) 진공 챔버의 온도 변화가 있으면 챔버 내의 공기 압력도 크게 변합니다. 해당 굴절률도 심하게 변동하여 간섭계 측정에 심각한 영향을 미칩니다.
(3) 진공 청소 과정에서 내부 및 외부 압력 차이로 인해 진공 챔버가 미세 변형되고 동시에 광학 창이 변위 및 기울어져 측정 광학 장치의 광학 경로가 변경됩니다. 길.
(4) 온도 요구 사항이 가변적인 일부 테스트 분야에서는 측정 대상을 가능한 한 빨리 가열하고 온도가 균일해야 하며, 이를 위해서는 진공도를 약 100Pa와 같은 특정 수준으로 제어해야 합니다. 대류 및 열전도 능력을 유지합니다.
정리하자면, 마이켈슨 레이저 간섭계 센서의 미세 변위와 기울기를 정밀하게 측정하려면 진공도를 정확하게 제어하는 것이 필요합니다. 이 기사에서는 진공도 자동 제어 기술과 구체적인 구현 방식을 소개합니다.
2. 시행계획
Michelson 레이저 간섭계 센서 테스트 중 진공도는 일반적으로 약 100kPa로 일정하게 유지되며 온도에 따라 변하지 않습니다. 이로 인해 그림 2와 같은 진공도 제어 시스템을 전자식 유량 제어 밸브를 이용하여 구현하는 것을 제안하며 구체적인 조건은 다음과 같다.
(1) 진공 측정에는 1 Torr 범위의 정전용량 진공 게이지를 사용하며 정확도는 ±0.2%에 달합니다.
(2) 24비트 A/D 획득 기능이 있는 전자 유량 제어 밸브를 통합한 고정밀 PID 진공 압력 컨트롤러는 고정밀 진공 압력 센서의 측정 정확도를 일치시키고 제어 정확도를 보장하는 데 사용됩니다.
(3) 진공 챔버의 공기 흡입구에 스테퍼 모터 비례 밸브를 설치하여 공기 흡입 흐름을 정밀하게 조정합니다.
(4) 제어 과정에서 진공 펌프를 켠 후 최대 속도로 펌핑하고 펌핑 속도를 변경하지 않고 유지합니다. 그런 다음 컨트롤러의 PID 매개변수가 자체 조정되므로 컨트롤러는 KAOLU 의 FC 시리즈 전자 유량 제어 밸브의 미세 개방을 자동으로 조정하여 챔버의 진공도를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
자세한 내용은 다음을 방문하세요.https://www.genndih.com/ko/proportional-flow-control-valve/mid-flow-proportional-valve-0-130L-min.html
개요: Michelson 레이저 간섭계 센서의 정밀한 미세 변위 및 경사 측정에서는 진공도를 정확하게 제어하는 것이 필요합니다. 그렇지 않으면 변형, 굴절률, 온도 등의 요인으로 인해 큰 변동이 발생하고 측정이 불가능해질 수도 있습니다. 본 논문에서는 전자유량제어밸브를 이용한 진공도 자동제어 기술을 소개하고, 구체적인 구현방안을 자세히 소개한다.
1. 질문
고정밀 광학 기기로는 Michelson 레이저 간섭계 센서가 널리 사용되었습니다. 파장, 가스 또는 액체 굴절률, 두께, 변위 및 경사를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 고정밀 측정의 길이, 속도, 각도, 평탄도, 직진도, 수직도 등을 측정할 수 있습니다. 그러나 고정밀 측정에서 Michelson 레이저 간섭계 센서는 대기 환경의 영향을 크게 받습니다. 이러한 이유로 측정 대상은 일반적으로 그림 1과 같이 저압 진공 환경에 배치되며 전자 유량 제어 밸브로 진공도를 정밀하게 제어하지 않으면 다음과 같은 문제가 발생할 수 있습니다.
(1) 테스트 환경의 가스 굴절률 변동은 고정밀 측정에 심각한 영향을 미칩니다. 특수 가스 굴절률 보정 장치를 사용하면 측정 정확도가 마이크론 또는 서브 마이크론 수준에 도달할 수 있으며 더 높은 정밀도의 측정에는 도달할 수 없습니다.
(2) 진공 챔버의 온도 변화가 있으면 챔버 내의 공기 압력도 크게 변합니다. 해당 굴절률도 심하게 변동하여 간섭계 측정에 심각한 영향을 미칩니다.
(3) 진공 청소 과정에서 내부 및 외부 압력 차이로 인해 진공 챔버가 미세 변형되고 동시에 광학 창이 변위 및 기울어져 측정 광학 장치의 광학 경로가 변경됩니다. 길.
(4) 온도 요구 사항이 가변적인 일부 테스트 분야에서는 측정 대상을 가능한 한 빨리 가열하고 온도가 균일해야 하며, 이를 위해서는 진공도를 약 100Pa와 같은 특정 수준으로 제어해야 합니다. 대류 및 열전도 능력을 유지합니다.
정리하자면, 마이켈슨 레이저 간섭계 센서의 미세 변위와 기울기를 정밀하게 측정하려면 진공도를 정확하게 제어하는 것이 필요합니다. 이 기사에서는 진공도 자동 제어 기술과 구체적인 구현 방식을 소개합니다.
2. 시행계획
Michelson 레이저 간섭계 센서 테스트 중 진공도는 일반적으로 약 100kPa로 일정하게 유지되며 온도에 따라 변하지 않습니다. 이로 인해 그림 2와 같은 진공도 제어 시스템을 전자식 유량 제어 밸브를 이용하여 구현하는 것을 제안하며 구체적인 조건은 다음과 같다.
(1) 진공 측정에는 1 Torr 범위의 정전용량 진공 게이지를 사용하며 정확도는 ±0.2%에 달합니다.
(2) 24비트 A/D 획득 기능이 있는 전자 유량 제어 밸브를 통합한 고정밀 PID 진공 압력 컨트롤러는 고정밀 진공 압력 센서의 측정 정확도를 일치시키고 제어 정확도를 보장하는 데 사용됩니다.
(3) 진공 챔버의 공기 흡입구에 스테퍼 모터 비례 밸브를 설치하여 공기 흡입 흐름을 정밀하게 조정합니다.
(4) 제어 과정에서 진공 펌프를 켠 후 최대 속도로 펌핑하고 펌핑 속도를 변경하지 않고 유지합니다. 그런 다음 컨트롤러의 PID 매개변수가 자체 조정되므로 컨트롤러는 KAOLU 의 FC 시리즈 전자 유량 제어 밸브의 미세 개방을 자동으로 조정하여 챔버의 진공도를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
자세한 내용은 다음을 방문하세요.https://www.genndih.com/ko/proportional-flow-control-valve/mid-flow-proportional-valve-0-130L-min.html