
2022.03.15
냉간 및 열간 스테이지의 정밀한 진공 제어
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자세한 세부 사항
냉간 및 열간 스테이지의 정밀한 진공 제어
개요: 밀폐형 진공 냉난방 단계에서 진공 제어 정확도가 낮고 제어 시스템을 지원하는 가격이 높다는 현재의 문제에 초점을 맞춰 본 논문에서는 국산 제품을 사용한 솔루션을 소개하고, 이를 이용한 업스트림 및 다운스트림 양방향 제어 모드의 세부 사항을 소개합니다. KAOLU 의 FC 시리즈 전자 니들 밸브 구현 과정. 본 솔루션을 적용하여 검증한 결과, 넓은 범위에서 정밀한 진공도 제어가 가능하며, 진공도 변동폭도 ±1% 이내로 제어가 가능합니다. 전체 제어 시스템은 높은 비용 성능을 가지고 있습니다.
1. 질문
밀폐형 진공 가열 및 냉각 단계는 진공 및 밀폐 환경 모두에서 사용할 수 있는 정밀 온도 제어 가열 및 냉각 단계입니다. 가열 및 냉각 기능이 있으며 제어된 진공 환경에서 시료를 정확하게 가열하거나 냉각시키는 현미경 및 분광계와 같은 응용 분야에 적합합니다. 사용자 요구 사항에 따라 현재 다양한 기밀 진공 가열 및 냉각 단계에서는 진공도 제어 측면에서 다음과 같은 문제를 해결해야 합니다.
(1) 국제 진공 가열 및 냉각 단계이든 진공 측정 및 제어는 Pirani 진공 게이지를 사용하므로 일치 제어 시스템은 연구 정확도 및 동결 건조 시뮬레이션과 같은 정밀한 진공 제어를 달성할 수 없습니다. 프로세스가 요구 사항을 충족할 수 없습니다.
(2) 밀폐형 진공 가열 및 냉각 단계는 일반적으로 크기가 작고 광범위한 진공도 내에서 정밀한 제어가 항상 어려웠습니다. 진공도의 변동은 크고, 진공도의 변동은 차례로 온도 안정성에 영향을 미칩니다.
(3) 국제 진공도 제어 시스템은 제어 정확도 요구 사항을 충족하지 못할 뿐만 아니라 비용이 많이 듭니다. 본 글에서는 밀폐형 진공 가열 및 냉각 테이블에 존재하는 위의 문제점에 초점을 맞춰 국산품과 높은 가성비를 갖춘 솔루션을 소개하고, 구체적인 구현 과정을 소개하고자 한다.
2. 솔루션
기밀 진공 냉각 및 가열 단계의 진공도 정밀 제어 시스템의 전체 구조는 그림 1에 나와 있습니다. 전체 시스템은 주로 진공 게이지, 수치 제어 니들 밸브, PID 컨트롤러 및 진공 펌프를 포함합니다. 진공 측정 및 제어의 정확성을 향상시키기 위해 0.01 ~ 760 Torr의 진공 범위를 포괄할 수 있는 더 높은 측정 정확도(전체 스케일의 최대 0.2%)를 갖춘 용량성 진공 게이지가 사용됩니다. 더 높은 진공 환경이 필요한 경우 Pirani 진공 게이지를 측정 및 제어에 사용할 수도 있습니다. 전체 범위의 진공 제어에 도달하기 위해 두 개의 전자 니들 밸브가 각각 고온 및 저온 단계의 공기 흡입구와 배출구에 설치됩니다. 업스트림 및 다운스트림 제어 모드를 각각 채택함으로써 전체 크기 변동률이 ±1% 미만인 정밀한 제어가 가능합니다. 컨트롤러는 정밀한 제어의 핵심입니다. 24비트 A/D 및 16비트 D/A의 고정밀 PID 컨트롤러가 사용되며 독립적인 듀얼 채널은 업스트림 및 다운스트림 가스 흐름 조절 및 제어에 편리합니다. 결론적으로, KAOLU 의 FC 시리즈 전자 니들 밸브의 비용 효율적인 정밀 제어는 이 입증된 진공 제어 솔루션을 통해 가능합니다.
자세한 내용은 다음을 방문하세요.https://www.genndih.com/ko/proportional-flow-control-valve/miniature-proportional-valve-0-32L-min.html
개요: 밀폐형 진공 냉난방 단계에서 진공 제어 정확도가 낮고 제어 시스템을 지원하는 가격이 높다는 현재의 문제에 초점을 맞춰 본 논문에서는 국산 제품을 사용한 솔루션을 소개하고, 이를 이용한 업스트림 및 다운스트림 양방향 제어 모드의 세부 사항을 소개합니다. KAOLU 의 FC 시리즈 전자 니들 밸브 구현 과정. 본 솔루션을 적용하여 검증한 결과, 넓은 범위에서 정밀한 진공도 제어가 가능하며, 진공도 변동폭도 ±1% 이내로 제어가 가능합니다. 전체 제어 시스템은 높은 비용 성능을 가지고 있습니다.
1. 질문
밀폐형 진공 가열 및 냉각 단계는 진공 및 밀폐 환경 모두에서 사용할 수 있는 정밀 온도 제어 가열 및 냉각 단계입니다. 가열 및 냉각 기능이 있으며 제어된 진공 환경에서 시료를 정확하게 가열하거나 냉각시키는 현미경 및 분광계와 같은 응용 분야에 적합합니다. 사용자 요구 사항에 따라 현재 다양한 기밀 진공 가열 및 냉각 단계에서는 진공도 제어 측면에서 다음과 같은 문제를 해결해야 합니다.
(1) 국제 진공 가열 및 냉각 단계이든 진공 측정 및 제어는 Pirani 진공 게이지를 사용하므로 일치 제어 시스템은 연구 정확도 및 동결 건조 시뮬레이션과 같은 정밀한 진공 제어를 달성할 수 없습니다. 프로세스가 요구 사항을 충족할 수 없습니다.
(2) 밀폐형 진공 가열 및 냉각 단계는 일반적으로 크기가 작고 광범위한 진공도 내에서 정밀한 제어가 항상 어려웠습니다. 진공도의 변동은 크고, 진공도의 변동은 차례로 온도 안정성에 영향을 미칩니다.
(3) 국제 진공도 제어 시스템은 제어 정확도 요구 사항을 충족하지 못할 뿐만 아니라 비용이 많이 듭니다. 본 글에서는 밀폐형 진공 가열 및 냉각 테이블에 존재하는 위의 문제점에 초점을 맞춰 국산품과 높은 가성비를 갖춘 솔루션을 소개하고, 구체적인 구현 과정을 소개하고자 한다.
2. 솔루션
기밀 진공 냉각 및 가열 단계의 진공도 정밀 제어 시스템의 전체 구조는 그림 1에 나와 있습니다. 전체 시스템은 주로 진공 게이지, 수치 제어 니들 밸브, PID 컨트롤러 및 진공 펌프를 포함합니다. 진공 측정 및 제어의 정확성을 향상시키기 위해 0.01 ~ 760 Torr의 진공 범위를 포괄할 수 있는 더 높은 측정 정확도(전체 스케일의 최대 0.2%)를 갖춘 용량성 진공 게이지가 사용됩니다. 더 높은 진공 환경이 필요한 경우 Pirani 진공 게이지를 측정 및 제어에 사용할 수도 있습니다. 전체 범위의 진공 제어에 도달하기 위해 두 개의 전자 니들 밸브가 각각 고온 및 저온 단계의 공기 흡입구와 배출구에 설치됩니다. 업스트림 및 다운스트림 제어 모드를 각각 채택함으로써 전체 크기 변동률이 ±1% 미만인 정밀한 제어가 가능합니다. 컨트롤러는 정밀한 제어의 핵심입니다. 24비트 A/D 및 16비트 D/A의 고정밀 PID 컨트롤러가 사용되며 독립적인 듀얼 채널은 업스트림 및 다운스트림 가스 흐름 조절 및 제어에 편리합니다. 결론적으로, KAOLU 의 FC 시리즈 전자 니들 밸브의 비용 효율적인 정밀 제어는 이 입증된 진공 제어 솔루션을 통해 가능합니다.
자세한 내용은 다음을 방문하세요.https://www.genndih.com/ko/proportional-flow-control-valve/miniature-proportional-valve-0-32L-min.html
