디지털 니들 밸브를 이용한 정확한 휴대용 진공 게이지 교정 장치

진공 게이지 교정 장치의 디지털 니들 밸브

정적 비교 방법 교정 기술을 기반으로 진공 게이지의 현장 교정에 도달하기 위해 휴대용 진공 게이지 교정 장치에 디지털 니들 밸브를 통합합니다. 이 기사에서는 듀얼 채널 고정밀도와 결합된 소형 디지털 니들 밸브와 업스트림 및 다운스트림 양방향 가스 흐름 제어 모드를 사용하는 기술 방식에 중점을 둡니다. 진공 PID 컨트롤러와 함께 디지털 니들 밸브를 사용하면 정밀한 진공 제어를 전제로 현장 교정 및 휴대성 문제를 해결할 수 있습니다..

1. 질문

진공 센서 또는 진공 게이지는 많은 분야에서 널리 사용되며 정기적인 교정이 필요하므로 진공 게이지의 교정 장치는 진공 표준, 진공 펌프, 진공 밸브 및 연결 파이프라인을 포함하는 완전한 측정 시스템입니다. 일반적으로 크기가 커서 이동이 불편하며 대부분 실험실에서 고정되어 있습니다. 기존 진공 게이지 교정 방법은 대부분 현장 점검에 사용되는 진공 게이지를 제거하는 방식이었습니다. 현장 교정 요구 사항을 충족하려면 다음 문제를 해결해야 합니다.

(1) 관련 부품의 크기를 줄여 진공 게이지 교정 장치를 휴대하기 쉽게 만듭니다.

(2) 수치 제어 및 디지털 니들 밸브를 채택하여 가스 흐름 조절의 정밀도를 향상시킵니다.

(3) 진공도 제어 방법과 진공도 제어 정확도 및 안정성을 향상시킵니다.

진공 게이지의 현장 교정과 교정 장치의 휴대성을 달성하기 위해 정적 비교법 교정 기술을 기반으로 이 기사에서는 소형 디지털 니들 밸브와 상류 및 하류 양방향 가스 흐름 제어를 사용하는 기술 방안에 중점을 둘 것입니다. 고정밀 진공 PID 컨트롤러와 결합된 모드입니다. 진공도의 정밀한 제어를 전제로 현장 교정 및 휴대성 문제를 해결할 수 있으며, 진공도의 변동은 ±1% 이내로 제어할 수 있습니다.

2. 휴대용 진공 게이지 교정 장치 기술 체계

휴대용 진공 게이지 교정 장치의 전체 구조는 그림 1에 나와 있으며, 이는 0.1~760 Torr의 진공 범위에서 교정 장치의 일반적인 구조에 대한 개략도입니다. 계획의 세부 내용은 다음과 같습니다.

(1) 비교 정적 분석 방법을 사용하여 교정된 진공 게이지를 기준 표준 진공 게이지와 비교합니다. 참조 표준 진공 게이지는 두 개의 용량성 필름 진공 게이지를 사용하여 전체 진공 교정 범위를 포괄하며 표준 진공 게이지는 진공 제어 센서 역할도 합니다.

(2) 진공도 컨트롤러는 2채널 고정밀 진공도 컨트롤러를 채택합니다. 컨트롤러의 A/D는 24비트이고 D/A는 16비트입니다. 이는 용량성 필름 진공 게이지의 고정밀 신호 출력에 해당하고 진공도 제어 정확도 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 컨트롤러의 두 채널은 두 개의 진공 게이지의 입력 신호와 양방향 디지털 니들 밸브의 공기 흡입 및 배기 흐름의 정밀한 조정에 해당합니다. 진공도 제어 과정에서 양방향 센서 신호는 필요에 따라 자동으로 전환되어 전체 범위 내에서 프로그래밍 가능한 자동 제어에 도달할 수 있습니다. 컨트롤러에는 PID 자체 조정 기능과 표준 MODBUS 통신 프로토콜이 있습니다.

(3) 두 개의 디지털 니들 밸브는 공기 흡입 및 배기 흐름을 각각 조정하는 데 사용되며 컨트롤러는 두 개의 니들 밸브를 각각 조정하기 위해 양방향 모드를 채택합니다. 공기 흡입 니들 밸브는 주로 거친 진공 범위에서 조정되고 공기 흡입 니들 밸브는 주로 고진공 범위에서 조정됩니다. 진공도가 전체 범위에서 일정할 때 진공도 변동률을 ±1% 이내로 제어할 수 있습니다. 디지털 니들 밸브에 대한 자세한 내용은 다음을 방문하십시오.

https://www.genndih.com/ko/proportional-flow-control-valve.htm