공압 솔레노이드 밸브 제조업체 - Kao Lu
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마이크로 레이저 빔 용접의 진공 제어 시스템을 위한 압력 조절 솔루션

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자세한 세부 사항

1. 비례압력 조절기 도입
마이크로 용접으로도 알려진 마이크로 레이저 빔 용접(LBW)은 미세한 용접을 만들기 위해 작은 직경의 레이저 빔을 투사하여 서로 다른 금속을 융합하는 것입니다. 최근 한 고객이 마이크로 레이저 빔 용접 시스템의 정밀한 압력 조절을 위한 진공 제어 시스템에 대한 맞춤형 요청을 했습니다. 구체적인 요구 사항은 용접 챔버가 불활성 가스로 채워져 있어야 하며, 용접 챔버의 절대 압력은 10Pa ~ 1기압(0.1MPa)의 진공 범위 내에서 정확하고 일정해야 한다는 것입니다. 모든 제어 지점의 압력 변동은 ±1% 미만입니다.


이 기사에서는 위에서 언급한 마이크로 레이저 빔 용접에서 진공 제어 시스템의 압력 조절에 대한 고객의 기술 요구 사항에 대한 해당 솔루션을 제안합니다. 구체적인 구현 계획은 다양한 범위의 진공 게이지, 입구 KAOLU 의 비례 압력 조절기, 출구 전자 볼 밸브 및 이중 채널 고정밀 PID 컨트롤러를 장착하고 공기 압력에 도달하기 위해 다양한 진공 범위에 대한 업스트림 및 다운스트림 제어 모드를 채택하는 것입니다. 지속적인 제어의 전체 범위 내에서 규제. 이 솔루션을 사용하면 전체 범위에 걸쳐 모든 설정점에서 ±1% 미만의 변동률로 진공을 지속적으로 제어할 수 있습니다.


2. 비례압력조절기의 솔루션
마이크로 레이저 빔 용접에 필요한 공기압 조정 범위(절대압)는 진공도 10Pa~0.1MPa이므로 전 범위의 일정 공정에서 임의로 설정할 수 있는 진공도의 변동률은 ±1% 미만이며, 용접 공정도 필요합니다. 공기압으로 인한 공기압 변동은 신속하고 일정하게 조정될 수 있으므로 이 솔루션은 두 개의 제어 루프를 사용하여 전체 규모를 포괄합니다.

첫 번째 제어 루프는 1kPa~101kPa 범위의 높은 공기압을 제어하는 역할을 하며, 1000Torr 범위의 필름 용량 진공 게이지가 센서로 사용됩니다. 진공 게이지는 PID 컨트롤러의 첫 번째 채널에 연결됩니다. PID 제어기는 수신된 진공 신호를 설정값과 비교하여 비례 압력 조절기를 조정하여 용접실의 공기 압력이 빠르게 설정값에 도달하고 일정하게 유지되도록 합니다. 두 번째 제어 루프는 10Pa~1kPa 범위의 저압 제어를 담당하며, 10Torr 범위의 필름 용량 진공 게이지를 센서로 사용합니다.

진공 게이지는 PID 컨트롤러의 두 번째 채널에 연결됩니다. PID 제어기는 수신된 진공 신호를 설정값과 비교하여 비례 압력 조절기를 조정하여 용접실의 공기 압력이 빠르게 설정값에 도달하고 일정하게 유지되도록 합니다.

제어 정확도와 안정성을 보장하기 위해 이 솔루션은 1초 이내의 응답 속도를 갖는 비례 압력 조절기가 필요하며, 24비트 AD 및 16비트 DA 고정밀도를 갖춘 듀얼 채널 PID 컨트롤러가 필요합니다. 이 솔루션은 널리 성공적으로 사용되었습니다.


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