KMF1000
MEMS 가스 질량 유량계 0-2000L/min
몫
KMF1000 시리즈 디지털 가스 질량 유량계는 MEMS(Micro-ElectroMechanical System) 유량 감지 칩으로 만들어졌으며, 깨끗하고 상대적으로 건조한 소규모 흐름 가스 측정 및 공정 제어의 다양한 목적에 적합하며, 독특한 패키징 기술로 제품을 높은 감도, 높은 신뢰성, 높은 안정성 및 저렴한 비용을 보장하기 위해 다양한 유량 측정 범위를 충족합니다.
이는 MEMS 유량 감지 장치와 고정밀 디지털 처리 및 교정 회로(MCU)를 기반으로 합니다. 통합된 Δ-Σ A/D 변환기와 내부 교정 기능 및 MCU 프로세서를 갖춘 논리 회로는 감지 신호의 실시간 효과적인 획득을 보장하고 정확한 흐름 신호를 획득하며 내부에서 해당 보상 알고리즘 처리를 보장합니다. 따라서 고정밀도를 보장하기 위해 외부 교정 및 보상을 수행할 필요가 없습니다.
| 시리즈 1000 질량 유량계 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 유형 | KMF1002 | KMF1005 | KMF1008 | KMF1019 | KMF1025 | |
| DN(mm) | 2 | 5 | 8 | 19 | 25 | |
| 유량 범위(SLPM) | 0.5-50cc | 0-25L | 0-50L | 0-250L | 0-1000L | 20-2000L |
| 공급 전력(VDC) | 7-24VDC, 50mA | |||||
| 정확성 | ±1.5%FS | |||||
| 반복성 | 0.25% | |||||
| 턴다운 비율 | 1:100 | |||||
| 응답 | 67밀리초 | |||||
| 최대 압력 | 0.5MPa | |||||
| 시리얼 통신 | RS485(모드버스) | |||||
| 산출 | 1-5VDC | |||||
| 4~20mA | ||||||
| 표시하다 | SLPM(인스턴트 플로우) / SL(어컴 플로우) | |||||
| 온도 | 10~65°C(유체) | |||||
| -25~85°C(주변) | ||||||
| 습기 | <100%RH | |||||
| 무게 | 0.190kg | 0.210kg | 0.215kg | 0.220kg | 0.380kg | |
| 포트 | G1/8"-F | NPT1/4"-F | G3/8"-F | NPT3/4"-M | G1"-M | |
| 구경 측정 | 공기, 20°C, 101.325kpa | |||||