FC1500AKMF1500
폐쇄 루프 공기 흐름 컨트롤러
몫
FC1500AKMF1000 시리즈는 비례 유량 제어 밸브 FC1500과 MEMS 가스 유량계로 구성됩니다. FC1500은 마이크로 스텝 스테퍼 모터로 구동되는 고도로 정교한 니들 밸브입니다. 턴다운 비율은 높은 정확도, 반복성 및 히스테리시스로 최대 400:1에 도달할 수 있습니다.
FC 밸브는 공기, 물, 오일과 호환됩니다. Viton 또는 FFKM O-링을 선택할 수 있으며 본체 재질은 알루미늄 또는 스테인리스강일 수 있습니다.
MEMS 가스 유량계는 빠른 응답 시간과 높은 정확도를 특징으로 합니다. 공기와 호환되고 보정됩니다. 출력 신호가 매우 안정적이고 전력 소비가 낮습니다. 유량계와 FC 밸브의 조합은 높은 분해능으로 고유량 제어에 탁월한 성능을 제공합니다.
우리의 모든 제품은 ISO13485 품질 시스템을 갖춘 CE, SGS, RoHS 인증을 받았습니다.
특징
- 콤팩트
- 높은 정밀도
- 고감도
- 높은 해상도
산업적 응용
- 반도체 장비
- 냉각 기계
- 동적 유량 제어
| 모델 | FC1500AKMF |
|---|---|
| 유량 범위 | 0-25 / 0-50 / 0-250 / 0-1000 |
| 최대 내전압 | 5 bar (72.5 psig) |
| 제어 신호 | 0-10V / 0-5V / 4-20mA / RS485 |
| 모니터 출력 | 1-5V / RS485 |
| 작동 전원 공급 장치 | 24 VDc(12W) |
| 중간 | 깨끗한 압축 공기 또는 5μm 필터 사용 |
| 정확성 | ±1.5% F.S |
| 반복성 | 0.025% |
| 밸브 분해능 | 0.5 L/min *입구 압력 1bar (14.5psi) |
| 거절 | 100:1 |
| 디스플레이 유닛 | SLPM (인스턴트 플로우) / SL (누적 흐름) |
| 작동 온도 | 10~65℃ (체액) |
| -25~85 ℃ (주변) | |
| 구경 | G3/8" |
| 기본 재료 | 알루미늄 합금 |
| 젖은 재료 | 알루미늄 합금, 불소 고무 |
| 전기 연결 | EDZ1550/4 |
| 출력 흐름 표준 | Air, 20℃, 101.325kPa |