스테퍼 제어 비례 밸브 0-65L/min

고해상도 전자 유량 제어 밸브

소개
고해상도 전자 유량 제어 밸브는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 차세대 유량 제어 밸브입니다. 서보 모터와 광학 위치 센서를 사용하여 누출 및 퍼지 응용 분야에 대해 낮은 누출율로 초고분해능과 반복성을 제공합니다. 단일 시트 설계와 차압이 없는 고해상도 밸브는 기존 니들 밸브보다 뛰어난 성능을 제공합니다.

고해상도 전자 유량 제어 밸브
고해상도 전자 유량 제어 밸브는 단일 시트 설계이므로 밸브를 작동하는 데 차압이 필요하지 않습니다. 서보 모터와 광학 위치 센서는 누출 및 퍼지 응용 분야에 대한 초고분해능, 반복성 및 낮은 누출율을 허용합니다.

고분해능 밸브는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 차세대 유량 제어 밸브입니다.
고분해능 밸브는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 차세대 유량 제어 밸브입니다. 서보 모터와 광학 위치 센서를 사용하여 누출 및 퍼지 응용 분야에 대해 낮은 누출율로 초고분해능과 반복성을 제공합니다. 단일 시트 설계와 차압이 없는 고해상도 밸브는 기존 니들 밸브보다 뛰어난 성능을 제공합니다.

이 기술에 대한 자세한 내용은 여기에서 확인할 수 있습니다.[link]

고해상도 밸브에는 수많은 특허 혁신 기술이 포함되어 있습니다.

• 고해상도 밸브에는 오늘날 시장의 다른 어떤 제품과도 비교할 수 없는 수많은 특허 혁신 기술이 포함되어 있습니다.
• 특히, 당사의 설계는 유례없는 수준의 정확도와 유속 제어를 제공하여 실험실 의학이나 미세유체 응용 분야에서 볼 수 있는 것과 같은 소량의 유체를 정밀하게 처리할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 이전보다 더 정확하게 샘플 전달을 제어할 수 있습니다.
• 유속은 장치 본체 내부의 얇은 튜브를 따라 앞뒤로 미끄러지는 기계식 레버 암에 의해 제어됩니다. 이 튜브 내부의 압력이 증가함에 따라(즉, 더 많은 액체가 통과함에 따라) 이 암은 전체 범위(약 0.5도에 해당하는 거리)로 약간 회전합니다. 완전히 회전하면 브래킷에서 나오는 다른 핀에 어느 쪽이 밀리는지에 따라 완전 개방 또는 폐쇄 모드가 트리거됩니다. 한 쪽은 시스템으로 들어가는 유체를 제어하고 다른 쪽은 시스템에서 나가는 액체를 제어합니다!

최대 65slpm의 유량
최대 65 slpm의 유속 외에도 밸브는 업계 최고 수준인 풀 스케일의 0.05% 분해능과 0.05%의 반복성을 제공합니다.
단일 시트 설계를 사용하면 차압이 필요하지 않으므로 유압 동력이나 압축 공기 또는 전기와 같은 외부 에너지원이 필요하지 않습니다.

전체 규모의 0.05%라는 업계 최고의 분해능
밸브의 분해능은 전체 스케일의 0.05%입니다. 이는 다른 밸브는 물론 경쟁사의 전자 유량 제어 밸브보다 우수합니다. 또한 이 카테고리에 있는 경쟁사 제품의 해상도보다 더 좋습니다.

0.05%까지의 반복성
분해능이 높다는 것은 전체 규모의 0.05%까지 반복성을 달성할 수 있음을 의미합니다. 반복성은 시간이 지남에 따라 동일한 입력이 주어졌을 때 동일한 결과를 생성하는 장치의 능력을 나타내기 위해 전자 및 계측에서 사용되는 용어입니다. 해상도가 높을수록 출력이 더 정확해집니다.

당사의 밸브는 0.05%의 전체 크기 반복성을 제공하며 이는 유량 제어 밸브에 대해 매우 높은 수준이며 압력 트랜스미터 및 레벨 센서와 같은 정밀 측정 장비에 전 세계적으로 사용되는 산업 표준입니다.

단일 시트 설계, 차압이 필요하지 않음
EFCV의 단일 시트 설계는 차압이 필요하지 않음을 의미하며 이는 시스템에 좋은 소식입니다. 차압은 전자 유량 제어에서 흔히 발생하는 문제입니다. 밸브를 통과하는 유체의 온도가 밸브의 위치나 시스템의 다른 장비와의 근접성으로 인해 변할 때 발생합니다. 이로 인해 구성 요소에 추가적인 스트레스가 발생할 수 있으며 확인하지 않은 채 방치하면 시간이 지남에 따라 손상될 수도 있습니다. EFCV는 극한의 조건에서도 이러한 문제가 발생하지 않도록 설계되었습니다. 즉, 유지 관리 비용이 줄어듭니다!

고해상도 전자 유량 제어 밸브는 반도체 응용 분야에 낮은 누출율로 초고해상도를 제공합니다.
고해상도 전자 유량 제어 밸브는 반도체 응용 분야에 낮은 누출율로 초고해상도를 제공합니다. 높은 정밀도, 높은 분해능, 낮은 누출율 및 매우 높은 반복성을 갖추고 있습니다.

이 전자 밸브는 기존 기술의 단점을 극복하고 높은 정밀도, 높은 분해능, 낮은 누출율 및 초고 반복성을 갖습니다.
본 발명의 전자유량조절밸브는 컴퓨터로 조작이 가능하며 일반적으로 액체나 기체의 유량과 방향을 조절하는 고분해능 밸브로 사용된다. 이 전자 밸브는 기존 기술의 단점을 극복하고 높은 정밀도, 높은 분해능, 낮은 누출율 및 초고 반복성을 갖습니다. 전자 유량 제어 밸브는 다음으로 구성됩니다.

• 유입 포트와 유출 포트를 갖는 하우징;
• 유입구와 유출구 사이에 배치되는 슬리브;
• 슬리브에 배치된 감지요소; 4) 슬리브의 한쪽 끝에 배치된 액추에이터; 5) 회전축이 상기 액추에이터의 회전축과 교차하면서 상기 전기 모터를 통과하는 전류에 의해 회전될 수 있도록 상기 액추에이터에 대해 상기 하우징 내부에 배치된 전기 모터; 6) 상기 전동모터의 양단(좌측단 및 우측단)에 각각 다수의 캠을 배치하여 스프링이나 스프링 와셔 등의 다른 부재에 의해 눌려지면 각 캠이 해당 전동모터의 회전에 따라 회전하도록 구성된 캠장치에 관한 것이다. 가압력이 해제된 후 자체 관성 토크에 의해 회전을 멈추는 하사점 위치에 도달할 때까지 상면부에 고정 장착되어 다른 부재(스프링 또는 스프링 와셔)가 상승과 함께 위쪽으로 이동할 수 있도록 합니다. /하강 운동으로 인해 각 쌍 사이의 간격을 동일하게 유지할 뿐만 아니라 작동 주기 동안 상대적인 움직임을 방지하여 전술한 캠 장치 자체에 부하 부담을 주지 않습니다.

결론
고해상도 전자 유량 제어 밸브는 오늘날 사용되는 기계식 및 공압식 밸브를 훌륭하게 대체합니다. 높은 정밀도, 높은 분해능, 낮은 누출율 및 매우 높은 반복성을 갖추고 있습니다. 이 밸브는 최대 65slpm의 유량을 처리하는 동시에 0.05% 풀 스케일의 업계 최고의 분해능을 제공하므로 반도체 응용 분야에 이상적입니다.