閉迴路空氣流量控制器

FC1500AKMF1500

閉迴路空氣流量控制器

FC1500AKMF1000系列由流量比例控制閥FC1500和MEMS氣體流量計組成。FC1500是一款由微步步進馬達驅動的高度精度的針閥。調節比可達400:1,具有高精準度、重複性、遲滯性等特性。FC系列比例閥適用於和空氣、水和油,密封圈材質有Viton或FFKM可供選擇,本體材質為鋁合金或不銹鋼。
MEMS氣體流量計具有反應時間快、精度高…等特點。它與空氣相容並進行校準,具有異常穩定的輸出訊號和低功耗。此氣體流量計與FC系列流量比例控制閥的組合提供了高解析度及大流量控制的優異性能。
我們所有的產品都有 CE、SGS、RoHS認證和ISO13485品質認證。

產品特色

  • 輕巧易安裝
  • 高精度
  • 高靈敏度
  • 高解析度


產業應用

  • 半導體設備
  • 冷卻機器
  • 動態流量控制
型號 FC1500AKMF
流量範圍 0-25 / 0-50 / 0-250 / 0-1000
最大耐壓 5 bar (72.5 psig)
控制訊號號 0-10V / 0-5V / 4-20mA / RS485
監控輸出 1-5V / RS485
工作電源 24 VDc(12W)
介質 潔淨壓縮空氣或搭配 5μm 過濾器
精度 ±1.5% F.S
重覆精度 0.025%
閥分辨率 0.5 L/min
*入氣壓力 1bar(14.5psi)
量程比 100:1
顯示單位 SLPM(Instant Flow) / SL(Accum Flow)
工作溫度 10~65℃ (Fluid)
-25~85 ℃ (Ambient)
口徑 G3/8"
底座材質 鋁合金
接液材質 鋁合金、氟橡膠
電器連接 EDZ1550/4
輸出流量標準 Air, 20℃, 101.325kPa