KMF1000
气体质量流量计（0-2000L/min）
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KMF1000 系列数位气体质量流量计采用微机电系统流量感测晶片，适用于各种用途的清洁、相对干燥的小流量气体测量和制程控制，特别的封装技术使得此产品满足不同范围的流量测量，能够保证高灵敏度、高可靠性、高稳定性和低成本。
它的原理是基于 MEMS 流量感测单元和高精度数位处理和校准电路。整合 Δ-Σ A/D 转换器以及内部具有校准功能的组合逻辑电路和 MCU 处理器共同确保感测讯号的即时有效撷取，获得准确的流量讯号，并在内部进行相应的补偿演算法处理，因此无需进行任何外部校准和补偿即可确保高精度的流量输出。
| Series 1000 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | KMF1002 | KMF1005 | KMF1008 | KMF1019 | KMF1025 | |
| 通孔径（mm） | 2 | 5 | 8 | 19 | 25 | |
| 流量范围（SLPM） | 0.5-50cc | 0-25L | 0-50L | 0-250L | 0-1000L | 20-2000L |
| 工作电源（VDc） | 7-24 VDc, 50 mA | |||||
| 精度 | ±1.5% F.S | |||||
| 重复精度 | 0.25% | |||||
| 量程比 | 1:100 | |||||
| 响应时间 | 67 msec | |||||
| 最大耐压 | 0.5 Mpa | |||||
| 数字信号输出 | RS485 (modbus) | |||||
| 输出讯号 | 1-5 VDc | |||||
| 4-20 mA | ||||||
| 显示单位 | SLPM (Instant Flow) / SL (Accum Flow) | |||||
| 工作温度 | 10~65°C (Fluid) | |||||
| -25~85°C (Ambient) | ||||||
| 空气湿度 | <100%RH | |||||
| 重量 | 0.190kg | 0.210kg | 0.215kg | 0.220kg | 0.380kg | |
| 口径 | G1/8" 內螺紋 | NPT1/4" 內螺紋 | G3/8" 內螺紋 | NPT3/4" 外螺紋 | G1" 外螺紋 | |
| 输出流量标准 | Air, 20°C, 101.325kpa | |||||