1. Valvola MKS di controllo del flusso a monte
Abstract: Basato sulle valvole di controllo del flusso a monte delle serie 148J, 248A e 154A e sui regolatori delle serie 244, 250, 946 e 651 di MKS Corporation negli Stati Uniti. Questo articolo presenterà i corrispondenti prodotti alternativi localizzati, la valvola a spillo a controllo elettronico e i regolatori multifunzionali di alta precisione. Inoltre, vengono presentate le caratteristiche e gli indicatori tecnici dei prodotti sostitutivi localizzati.
La valvola di controllo del flusso a monte MKS è un tipo di valvola proporzionale elettromagnetica a vuoto, come illustrato nella Figura 1. Esistono tre serie di prodotti: (1) 148J valvola di controllo del flusso interamente in metallo: tenuta in metallo, portata 0,01~20L/min. (2) 154B valvola di controllo del flusso di grandi dimensioni: tenuta in gomma, portata 20~200L/min. (3) Valvola di controllo del flusso universale 248D: tenuta in gomma, portata 0,01~50L/min.

2. Controllore di flusso/pressione MKS Il controllore di flusso/pressione di MKS è un tipo di controllore PID, come illustrato nella Figura 2, e comprende principalmente le seguenti 4 serie di prodotti:
(1) Serie 244: controllo PID manuale, controllo a canale singolo, adatto a vari sensori, segnale di ingresso 0~10VDC, modalità di controllo manuale/automatica/esterna, precisione di 0,25% del fondo scala, set point multipli (3 o 4), indicatore di deviazione del controllo. Questa serie di controllori è stata dismessa.
(2) Serie 250: controllo PID manuale, controllo a canale singolo, adatto a una varietà di sensori di vuoto, segnale di ingresso 0~10VDC, modalità di controllo manuale/automatica/esterna, precisione di 0,25% del fondo scala, fino a 4 set point, impostazione di programmazione esterna, visualizzazione digitale del valore misurato e del valore di deviazione del controllo. Questa serie di controllori è stata dismessa.
(3) Serie 946: controllo PID automatico, acquisizione A/D a 16 bit, controllo a 6 canali, adatto a diversi sensori di vuoto. Può monitorare fino a 6 segnali del sensore contemporaneamente, segnale di ingresso/uscita 0~10VDC, modalità di controllo manuale/automatica/esterna, programmazione interna, visualizzazione digitale del valore misurato e del valore di deviazione del controllo, uscita a relè a 12 vie, comunicazione RS232/485.
(4) Serie 651: controllo PID rapido autoregolante, acquisizione A/D a 16 bit, controllo a canale singolo, adatto a una varietà di sensori di vuoto, segnale di ingresso/uscita 0~10VDC, modalità di controllo manuale/automatica/esterna, ripetibilità del fondo scala di ±0,1%, programmazione esterna, visualizzazione digitale dei valori misurati, interfaccia I/O multicanale, comunicazione RS232/485.

3. La valvola a spillo localizzata a controllo elettronico sostituisce direttamente la valvola di controllo a solenoide MKS
La valvola di controllo del flusso a monte di MKS è una tradizionale valvola a solenoide. Il problema principale della valvola a solenoide è che l'isteresi è relativamente grande, il che ovviamente influisce sulla linearità e sulla precisione del controllo. Il prezzo complessivo di queste valvole di controllo è relativamente alto e non esiste un marchio locale corrispondente. Per raggiungere la sostituzione localizzata delle valvole di controllo del flusso a monte e migliorare l'efficienza dei costi, utilizziamo i motori passo-passo per sostituire le valvole a solenoide nella tecnologia delle valvole ad ago e sviluppiamo una serie di valvole ad ago a controllo elettronico con diverse portate. Come mostrato nella Figura 3 e nella Figura 4, la sostituzione della localizzazione è stata pienamente raggiunta.
Visitate il sito https://www.genndih.com/proportional-flow-control-valve.htm

Modello	FC-20	FC-120	FC-300	FC-1000
Tipo di valvola	Valvola a spillo
Autista	Controllo del motore passo-passo bipolare
Tempo di risposta	0,8 secondi (da aperto a chiuso)
Dimensione standard	G 1/8"	G 3/8"
Fluido	Gas inerte e liquido Pressione
Gamma	-1 ~ 7 bar	-1 ~ 5 bar
Gamma di flusso	3× ~75L/min	0,01 ~ 30L/min	0,2 ~ 200L/min	0,1 ~ 50L/min
Flusso massimo	50L/min @7bar	240L/min @7bar	290L/min @7bar	600L/min @7bar
Linearità	2%	0.1 ~ 1%	0.2 ~ 5%	11%

 

Ripetibilità (Fondo scala)	1%
Risoluzione del flusso (lunghezza del passo)	0.1L	0.1 ~ 0.2L	0.2 ~ 0.75L	1L
Risoluzione del turno	12,7 um	25,4 um
Intervallo di temperatura operativa	0 ~ 84ºc
Sigillo	Guarnizioni standard FKM o di altro tipo
Segnale di controllo	DC: 0 ~ 10V (o 4 ~ 20mA)
Alimentazione	DC: 24V (12W)

4. Il controllore PID localizzato ad alta precisione sostituisce il controllore MKS
Il controllo del flusso/pressione del gas di MKS è un controllore dedicato, che può soddisfare solo il controllo del flusso e della pressione del gas nel campo del vuoto. Sebbene sia molto potente, è più costoso. Il controllore PID sostituito dalla localizzazione adotta un collettore A/D a 24 bit con una maggiore precisione. Il controllore è più versatile e può raggiungere il controllo simultaneo della temperatura e della pressione del vuoto, come illustrato nella Figura 5. Le caratteristiche principali sono le seguenti:
(1) Alta precisione: acquisizione A/D a 24 bit, uscita D/A a 16 bit.
(2) Multicanale: 1 canale e 2 canali indipendenti.
(3) Multifunzione: 47 tipi di segnali di ingresso (termocoppia, resistenza termica, tensione CC) consentono di eseguire simultaneamente test, visualizzazione e controllo di diversi parametri e di eseguire il controllo in avanti e all'indietro (modalità di controllo bidirezionale).
(4) Controllo PID: L'algoritmo PID migliorato supporta il controllo differenziale PV e l'anticipo differenziale. 20 gruppi di PID di gruppo, funzione di limitatore di uscita di gruppo.
(5) Commutazione a doppio sensore: ogni canale può supportare la commutazione a doppio sensore di alta e bassa temperatura e di alto e basso vuoto. Due canali possono formare una combinazione di controllo con un totale di quattro sensori collegati.
(6) Controllo del programma: supporta 20 curve di processo, ciascuna con 50 segmenti, supporta il ciclo interno e il ciclo della curva.