Contrôle précis du vide dans les phases froides et chaudes

Contrôle précis du vide dans les phases froides et chaudes

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Contrôle précis du vide dans les phases froides et chaudes

Résumé : En se concentrant sur les problèmes actuels de mauvaise précision du contrôle du vide et du prix élevé du système de contrôle de support dans l'étape de refroidissement et de chauffage sous vide hermétique, cet article présente la solution utilisant des produits domestiques et présente les détails du mode de contrôle bidirectionnel en amont et en aval utilisant Processus de mise en œuvre des vannes à pointeau électroniques de la série FC de KAOLU . Cette solution a été appliquée et vérifiée, ce qui permet d'atteindre un contrôle précis du degré de vide dans une large plage, et la fluctuation du degré de vide peut être contrôlée à ± 1 %. L'ensemble du système de contrôle présente des performances élevées.

1. Question
L'étage de chauffage et de refroidissement sous vide hermétique est un étage de chauffage et de refroidissement à température contrôlée avec précision qui peut être utilisé dans des environnements sous vide et hermétiques. Il dispose de fonctions de chauffage et de refroidissement et convient aux applications telles que les microscopes et les spectromètres pour chauffer ou refroidir avec précision des échantillons dans un environnement sous vide contrôlé. Selon les exigences des utilisateurs, pour les différentes étapes actuelles de chauffage et de refroidissement sous vide hermétiques, en termes de contrôle du degré de vide, les problèmes suivants doivent être résolus :
(1) Qu'il s'agisse d'une étape de chauffage et de refroidissement sous vide internationale ou domestique, la mesure et le contrôle du vide utilisent également un manomètre Pirani, de sorte que le système de contrôle correspondant ne peut pas obtenir un contrôle précis du vide, tel que la précision de la recherche et de la simulation de lyophilisation. le processus ne peut pas répondre aux exigences.
(2) L'étage de chauffage et de refroidissement sous vide étanche à l'air est généralement de petite taille et il a toujours été difficile d'atteindre un contrôle précis dans une large plage de degrés de vide. La fluctuation du degré de vide est importante et la fluctuation du degré de vide affecte à son tour la stabilité de la température.
(3) Non seulement le système international de contrôle du degré de vide ne répond pas aux exigences de précision du contrôle, mais il est également coûteux. En se concentrant sur les problèmes ci-dessus existant dans la table de chauffage et de refroidissement sous vide étanche à l'air, cet article présentera une solution avec des produits nationaux et des performances de coût élevées, et présentera le processus de mise en œuvre détaillé.

2. Solutions
La structure globale du système de contrôle de précision du degré de vide de l'étage de refroidissement et de chauffage sous vide hermétique est illustrée à la figure 1. L'ensemble du système comprend principalement un vacuomètre, une vanne à pointeau à commande numérique, un contrôleur PID et une pompe à vide. Afin d'améliorer la précision de la mesure et du contrôle du vide, un vacuomètre capacitif avec une précision de mesure plus élevée (jusqu'à 0,2 % de la pleine échelle) est utilisé, qui peut couvrir la plage de vide de 0,01 à 760 Torr. Si un environnement de vide plus élevé est requis, un vacuomètre Pirani peut également être utilisé pour la mesure et le contrôle. Afin d'atteindre un contrôle complet du vide, deux vannes à pointeau électroniques sont installées respectivement à l'entrée et à la sortie d'air des étages chaud et froid. En adoptant respectivement les modes de contrôle en amont et en aval, un contrôle précis avec un taux de fluctuation à pleine échelle inférieur à ± 1 % peut être atteint. Le contrôleur est la clé d’un contrôle précis. Le contrôleur PID de haute précision de 24 bits A/D et 16 bits D/A est utilisé dans le schéma, et le double canal indépendant est pratique pour la régulation et le contrôle du débit de gaz en amont et en aval. En conclusion, un contrôle de précision rentable de la vanne à pointeau électronique de la série FC de KAOLU est possible grâce à cette solution de contrôle du vide éprouvée.

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