真空调节器

什么是真空调节器？
真空调节器是一种用于在系统中保持所需真空压力的装置。真空调节器有多种类型，但此处讨论的机械真空调节器基于力平衡原理工作。

两种真空控制
有两种主要类型的真空控制装置：真空调节器和真空破坏器。本页旨在解释每种类型的不同用途以及它们的工作原理。

类型 1：真空调节器
真空调节器，如Equilibar Vacuum 系列 (EVR)，通过节流真空泵和过程之间的流量来控制过程真空。这种通常被称为真空调节器的类型实际上是一种背压调节器，因为压力控制在入口端口。调节器关闭以增加绝对系统压力（或降低真空度）。
在右侧的简化示例中，真空调节器使用弹簧加载隔膜来控制真空压力。过程真空在隔膜的下侧，大气压在顶部。弹簧向上拉以提供负设定点偏置。当过程压力变得太低（真空太强）时，隔膜会降低，从而限制过程和真空供应泵之间的气流，从而降低真空度。随着绝对压力增加到高于设定值（真空度太低），柱塞上升，过程和供应泵之间的气体流量增加，从而增加真空度。

类型 2：真空断路器和真空减压调节器
另一种真空控制器让环境空气进入真空系统以控制真空压力。这种类型的调节器通常称为真空断路器或真空减压调节器。这些调节器实际上是一种减压调节器，因为压力控制在出口。调节器打开以增加绝对过程压力（或降低真空度）。真空减压调节器通常使用弹簧加载隔膜，上侧为大气压力，下侧为过程真空压力。在右侧的这个简化示例中，弹簧实际上将隔膜向上拉以提供负设定点压力。当绝对过程压力变得太低（真空太高）时，柱塞迫使阀座向下，让更多的外部空气进入过程。随着绝对过程压力的增加，柱塞再次上升以限制空气的流入。一些真空调节器被认为是“减压真空调节器”，这意味着当真空调节器的设定值降低（以增加绝对压力）时，它们可以允许气体进入过程。其他被认为是“非减压真空调节器”，这意味着必须从另一个来源提供气流以降低过程中的真空强度。幸运的是，大多数真空过程至少有少量的内泄漏，减轻了使用非泄压类型时的担忧。一些真空调节器通过允许少量但受控的泄漏量进入进气口来提供减压。

Equilibar真空调节器 (EVR) 的工作原理
EVR 是一种独特的两级真空调节器。它利用Equilibar的超灵敏圆顶加载背压调节器技术，在广泛变化的流速下提供无与伦比的压力稳定性。第 1 阶段：小型设定点调节器
第一级由一个小型灵敏真空调节器组成，它产生一个精确的设定点压力，该压力等于所需的过程真空。这个小型调节器由提供给较大调节器出口的真空源供电。这种小型调节器还允许将非常少量的空气吸入其中，以降低真空设定值。

第 2 階段：流量放大器
较大的调压器使用Equilibar独特的直接密封隔膜技术，以将过程（入口）压力与其圆顶（由小型调压器）提供的压力紧密匹配。第二阶段用作超灵敏的流量放大器。它还提供潜在腐蚀性过程蒸汽和较小的设定点调节器之间的化学隔离。这个流量提升级实际上是一个圆顶负载的背压调节器。特殊的隔膜阻挡了过程孔的入口，防止真空泵将过程抽吸到设定点压力以下（在圆顶上）。一旦过程压力增加到设定点压力以上，气体就会提升特殊隔膜并流向调节器出口。

使用电子压力比例阀
对于计算器自动化，使用电子真空调节器代替手动设定点调节器很容易。电子真空压力比例阀有两个伺服阀，可快速打开和关闭以控制由小型内部压力变送器测量的真空。它们的工作原理与电子压力比例阀类似，不同之处在于入口阀使用环境空气，出口阀连接真空源。

整体表现
即使气体流速和真空供应压力发生变化，这两个阶段的组合也能提供非常稳定的真空压力。需要注意的是，该真空调节器为非泄放型，不能快速增加进气口压力。该调节器适用于始终存在至少非常小的气流的过程。如果您的过程是气密的，且流量接近于零，您的应用工程师可以与您讨论在调节器入口处提供少量气体排放的简单方法。



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