VS 系列（1/4"~1"）
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- 该三通真空电磁阀属三口二位真空阀，带气动先导式锥形阀，有常开或者是常闭型。
- 壳身由铝合金製成，接线盒位于阀体上，二个合成氟橡胶芯安装在不锈钢杆上，隔膜由特殊橡胶材质製成，弹簧用于阀芯的往復运动。内部电磁线圈驱动电磁先导阀控制压缩空气的供给。
- 可显着地降低摩擦和内部动应力，使得阀的响应速度快，寿命长。
- 电磁先导阀上有一个按钮，可手动开关电磁阀，三通真空电磁阀用在进料器的真空阻隔、机器人、开發器等需要要在通路中抽吸和壳气间迅速切换的场合。
| 型号 | A | 最大流量 | 真空度（mbar abs.） | 反应时间（msec） | ø | 通孔面积 | 控制压力 | 重量 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ø | cum/h | 最小 | 最大 | 激磁 | 消磁 | 孔径 | mm2 | *Bar (g) | kg | |
| VS 07 01 13 | G1/4" | 6 | 1000 | 0.5 | 16 | 27 | 8.5 | 56.8 | 4 ÷ 7 | 0.44 |
| VS 07 02 13 | G3/8" | 10 | 1000 | 0.5 | 16 | 27 | 11.5 | 103.8 | 4 ÷ 7 | 0.43 |
| VS 07 03 13 | G1/2" | 20 | 1000 | 0.5 | 16 | 40 | 15.0 | 176 | 6 ÷ 7 | 0.52 |
| VS 07 04 13 | G3/4" | 40 | 1000 | 0.5 | 16 | 40 | 20 | 314 | 6 ÷ 7 | 1.00 |
| VS 07 05 13 | G1" | 90 | 1000 | 0.5 | 18 | 42 | 25 | 490 | 6 ÷ 7 | 0.94 |