闭回路空气流量控制器

FC1500AKMF1500

闭回路空气流量控制器

FC1500AKMF1000系列由流量比例控制阀FC1500和MEMS气体流量计组成。FC1500是一款由微步步进马达驱动的高度精度的针阀。 调节比可达400:1,具有高精度、重复性、迟滞性等特色。FC系列比例阀适用于和空气、水和油,密封圈材质有Viton或FFKM可供选择,本体材质为铝合金或不锈钢。
MEMS气体流量计具有响应时间快、精度高…等特点。它与空气兼容并进行校准,具有异常稳定的输出信号和低功耗。該气体流量计与FC系列流量比例控制阀的组合提供了高分辨率及大流量控制的出色性能。
我们所有的产品都有 CE、SGS、RoHS认证和ISO13485品质认证。

产品特色

  • 轻巧易安装
  • 高精度
  • 高灵敏度
  • 高分辨率


产业应用

  • 半导体设备
  • 冷却机器
  • 动态流量控制
型号 FC1500AKMF
流量范围 0-25 / 0-50 / 0-250 / 0-1000
最大耐压 5 bar (72.5 psig)
控制讯号 0-10V / 0-5V / 4-20mA / RS485
监控输出 1-5V / RS485
工作电源 24 VDc(12W)
介质 洁净压缩空气或搭配 5μm 过滤器
精度 ±1.5% F.S
重复精度 0.025%
閥分辨率 0.5 L/min
*入气压力 1bar(14.5psi)
量程比 100:1
显示单位 SLPM(Instant Flow) / SL(Accum Flow)
工作温度 10~65℃ (Fluid)
-25~85 ℃ (Ambient)
口径 G3/8"
底座材质 铝合金
接液材质 铝合金、氟橡胶
电器连接 EDZ1550/4
输出流量标准 Air, 20℃, 101.325kPa