マスフローコントローラー

1970 年代に始まったマスフローコントローラは、その効率と性能の面で長い道のりを歩んできました。1980年代には、半導体産業がマスフローコントローラの最大の消費者でした。その後1990年代には、より産業用途に適した頑丈なコントローラが開発されました。2000 年代初頭には、デジタルバスプロトコルが導入され、様々な種類のガスを測定できるコントローラが登場しました。現在、マスフローコントローラは研究施設、パイロットプラント、連続プロセスなどのアプリケーションで使用されています。マスフローコントローラは、他の機器と同様、進化し、需要の増加に対応できるよう変化しています。

マスフローコントローラの役割

マスフローコントローラは、流量制御機器の中でも、流量の制御と計測を同時に行う特殊な機器である。ほとんどの流量制御装置は、流量を調節できる制御弁を備えているが、流量そのものを測定する方法はない。そのため、多くの流量制御弁はヒステリシスを内在している。ヒステリシスをなくし、温度や圧力が変化しても流量を安定させるためには、マスフローコントローラが最適なソリューションとなります。

マスフローコントローラの多くは、基本的な熱原理で動作しますが、排ガスや煙突の測定に使われるインサーションメーターのような熱拡散流量計とは考えていない人が多いのではないでしょうか。マスフローコントローラは、メインガスフローから離れた小さなラインサイズ、つまりガスの小さなサンプリング単位で流量を測定します。専門家は、その大半をごく少量の気体や液体の流量を測定するために使用しています。

マスフローコントローラの原理

当社のマスフローコントローラは、ヒステリシスを排除するために、すべてのバージョンで同じ方法を採用しています。つまり、流量の閉ループ制御を行い、ユニット下流の流量出力の動的変化に応答します。内部のPIDコントローラは、現在の流量出力を表すフィードバック信号に応じて動的に調整されます。このフィードバック信号は内蔵のマスフローセンサーから供給され、熱線式風速計とサーミスターを用いてマスフローの正確な読み取りを可能にしています。