2022.03.18
Technologie de contrôle de précision du vide dans la mesure du micro-déplacement et de l'inclinaison du capteur interféromètre laser de Michelson
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Technologie de contrôle de précision du vide dans la mesure du micro-déplacement et de l'inclinaison du capteur interféromètre laser de Michelson
Résumé : Dans la mesure précise des micro-déplacements et de l'inclinaison du capteur interférométrique laser de Michelson, il est nécessaire de contrôler avec précision le degré de vide ; sinon, cela provoquerait d'énormes fluctuations dues à des facteurs tels que la déformation, l'indice de réfraction et la température, et rendrait même la mesure impossible. Cet article présente la technologie de contrôle automatique du niveau de vide à l'aide d'une vanne de régulation de débit électronique et présente en détail le schéma de mise en œuvre spécifique.
1. Question
En tant qu'instrument optique de haute précision, le capteur interférométrique laser Michelson a été largement utilisé. Il peut être utilisé pour mesurer la longueur d'onde, l'indice de réfraction du gaz ou du liquide, l'épaisseur, le déplacement et l'inclinaison. Il peut mesurer la longueur, la vitesse, l'angle, la planéité, la rectitude et la verticalité d'une mesure de haute précision, etc. Cependant, dans les mesures de haute précision, le capteur interférométrique laser Michelson sera sérieusement affecté par l'environnement atmosphérique. Pour cette raison, l'objet mesuré est généralement placé dans un environnement de vide à basse pression, comme le montre la figure 1, et le degré de vide est contrôlé avec précision à l'aide d'une vanne de régulation de débit électronique, sinon cela entraînerait le problème suivant :
(1) Les fluctuations de l'indice de réfraction du gaz dans l'environnement de test auront un impact sérieux sur les mesures de haute précision. Si un dispositif spécial de correction de l'indice de réfraction du gaz est utilisé, la précision de la mesure ne peut atteindre qu'un niveau micronique ou submicronique, et une mesure de plus grande précision ne peut pas être atteinte.
(2) S'il y a un changement de température dans la chambre à vide, la pression de l'air dans la chambre changera également radicalement. L'indice de réfraction correspondant fluctuera également considérablement, ce qui affectera sérieusement la mesure de l'interféromètre.
(3) Pendant le processus de mise sous vide, la différence de pression interne et externe provoquera une micro-déformation de la chambre à vide et, en même temps, entraînera également le déplacement et l'inclinaison de la fenêtre optique, modifiant ainsi le chemin optique de l'optique de mesure. chemin.
(4) Dans certains domaines d'essai avec des exigences de température variables, il est nécessaire que l'objet mesuré soit chauffé dès que possible et que la température soit homogène, ce qui nécessite de contrôler le degré de vide à un certain niveau, par exemple environ 100 Pa, afin que pour conserver la capacité de convection et de conduction thermique.
En résumé, pour mesurer précisément le micro-déplacement et l'inclinaison du capteur interférométrique laser de Michelson, il est nécessaire de contrôler avec précision le degré de vide. Cet article présentera la technologie de contrôle automatique du degré de vide et le schéma de mise en œuvre spécifique.
2. Plan de mise en œuvre
Pendant le test du capteur interférométrique laser Michelson, le degré de vide est généralement maintenu constant à environ 100 kPa et ne change pas avec la température. Pour cette raison, il est proposé de mettre en œuvre le système de contrôle du degré de vide illustré à la figure 2 à l'aide d'une vanne de régulation de débit électronique, et les conditions spécifiques sont les suivantes :
(1) Utilisez la jauge à vide capacitive avec une plage de 1 Torr pour la mesure du vide, et sa précision peut atteindre ± 0,2 %.
(2) Le contrôleur de pression à vide PID de haute précision intégrant une vanne de régulation de débit électronique avec acquisition A/D 24 bits est utilisé pour correspondre à la précision de mesure du capteur de pression à vide de haute précision et garantir la précision du contrôle.
(3) Installez une vanne proportionnelle de moteur pas à pas à l'entrée d'air de la chambre à vide pour ajuster avec précision le débit d'admission d'air.
(4) Pendant le processus de contrôle, une fois la pompe à vide allumée, elle pompe à pleine vitesse et maintient la vitesse de pompage inchangée. Ensuite, les paramètres PID du contrôleur s'auto-ajustent, de sorte que le contrôleur puisse ajuster automatiquement la micro-ouverture de la vanne de contrôle de débit électronique de la série FC de KAOLU pour atteindre un contrôle précis du degré de vide de la chambre.
Pour plus d'informations, veuillez visiterhttps://www.genndih.com/fr/valve-de-contrôle-de-débit-proportionnel/valve-proportionnelle-à-débit-moyen-0-130L-min.html
Résumé : Dans la mesure précise des micro-déplacements et de l'inclinaison du capteur interférométrique laser de Michelson, il est nécessaire de contrôler avec précision le degré de vide ; sinon, cela provoquerait d'énormes fluctuations dues à des facteurs tels que la déformation, l'indice de réfraction et la température, et rendrait même la mesure impossible. Cet article présente la technologie de contrôle automatique du niveau de vide à l'aide d'une vanne de régulation de débit électronique et présente en détail le schéma de mise en œuvre spécifique.
1. Question
En tant qu'instrument optique de haute précision, le capteur interférométrique laser Michelson a été largement utilisé. Il peut être utilisé pour mesurer la longueur d'onde, l'indice de réfraction du gaz ou du liquide, l'épaisseur, le déplacement et l'inclinaison. Il peut mesurer la longueur, la vitesse, l'angle, la planéité, la rectitude et la verticalité d'une mesure de haute précision, etc. Cependant, dans les mesures de haute précision, le capteur interférométrique laser Michelson sera sérieusement affecté par l'environnement atmosphérique. Pour cette raison, l'objet mesuré est généralement placé dans un environnement de vide à basse pression, comme le montre la figure 1, et le degré de vide est contrôlé avec précision à l'aide d'une vanne de régulation de débit électronique, sinon cela entraînerait le problème suivant :
(1) Les fluctuations de l'indice de réfraction du gaz dans l'environnement de test auront un impact sérieux sur les mesures de haute précision. Si un dispositif spécial de correction de l'indice de réfraction du gaz est utilisé, la précision de la mesure ne peut atteindre qu'un niveau micronique ou submicronique, et une mesure de plus grande précision ne peut pas être atteinte.
(2) S'il y a un changement de température dans la chambre à vide, la pression de l'air dans la chambre changera également radicalement. L'indice de réfraction correspondant fluctuera également considérablement, ce qui affectera sérieusement la mesure de l'interféromètre.
(3) Pendant le processus de mise sous vide, la différence de pression interne et externe provoquera une micro-déformation de la chambre à vide et, en même temps, entraînera également le déplacement et l'inclinaison de la fenêtre optique, modifiant ainsi le chemin optique de l'optique de mesure. chemin.
(4) Dans certains domaines d'essai avec des exigences de température variables, il est nécessaire que l'objet mesuré soit chauffé dès que possible et que la température soit homogène, ce qui nécessite de contrôler le degré de vide à un certain niveau, par exemple environ 100 Pa, afin que pour conserver la capacité de convection et de conduction thermique.
En résumé, pour mesurer précisément le micro-déplacement et l'inclinaison du capteur interférométrique laser de Michelson, il est nécessaire de contrôler avec précision le degré de vide. Cet article présentera la technologie de contrôle automatique du degré de vide et le schéma de mise en œuvre spécifique.
2. Plan de mise en œuvre
Pendant le test du capteur interférométrique laser Michelson, le degré de vide est généralement maintenu constant à environ 100 kPa et ne change pas avec la température. Pour cette raison, il est proposé de mettre en œuvre le système de contrôle du degré de vide illustré à la figure 2 à l'aide d'une vanne de régulation de débit électronique, et les conditions spécifiques sont les suivantes :
(1) Utilisez la jauge à vide capacitive avec une plage de 1 Torr pour la mesure du vide, et sa précision peut atteindre ± 0,2 %.
(2) Le contrôleur de pression à vide PID de haute précision intégrant une vanne de régulation de débit électronique avec acquisition A/D 24 bits est utilisé pour correspondre à la précision de mesure du capteur de pression à vide de haute précision et garantir la précision du contrôle.
(3) Installez une vanne proportionnelle de moteur pas à pas à l'entrée d'air de la chambre à vide pour ajuster avec précision le débit d'admission d'air.
(4) Pendant le processus de contrôle, une fois la pompe à vide allumée, elle pompe à pleine vitesse et maintient la vitesse de pompage inchangée. Ensuite, les paramètres PID du contrôleur s'auto-ajustent, de sorte que le contrôleur puisse ajuster automatiquement la micro-ouverture de la vanne de contrôle de débit électronique de la série FC de KAOLU pour atteindre un contrôle précis du degré de vide de la chambre.
Pour plus d'informations, veuillez visiterhttps://www.genndih.com/fr/valve-de-contrôle-de-débit-proportionnel/valve-proportionnelle-à-débit-moyen-0-130L-min.html